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MEMS集成裝置尤其是在生物傳感器方面,已經成為心率、血壓等涉及到身體健康生物信號監測的重要器件,在嚴苛的環境中膜層防護性能要求能具有較好的穩定性是關鍵。涂覆了派瑞林的工業級傳感器,為手術機器人功能提升與柔性電子發展提供重要的技術支撐。
除了醫療健康領域,MEMS柔性傳感系統可應用的領域還包括運動行業、可穿戴機械設備、人造皮膚等等。如將柔性壓力傳感器內置在鞋子中,可以實時檢測體重、發力姿勢、身體平衡性等;可穿戴設備中的柔性傳感器可以感知人的動作和用力情況,協助佩戴者提起重物、**走動等;集成了柔性觸力傳感器的人造皮膚,可以用于義肢上,感知佩戴者的動作意圖并協助其完成想要的動作。作為納米涂層材料之一,派瑞林鍍膜技術*好的提升了MEMS產品的表面防護性能。
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